用途:静電チャックの給電用端子 半導体業界の商社様からご相談があり、高電圧の静電チャック(半導体の製造装置の中で静電気でものを吸着する機械)のための給電部に必要なコネクタを制作しました。 常用電圧が3KV、耐電圧6KVで、小さいスペースの中に組み込むために小型化も行いました。