大電流・高電圧コネクター

静電チャック給電端子

仕様 使用電圧max.3kV  耐電圧6KV(1分間) 静電チャックにしようされている高電圧コネクタです。
貴社オリジナルコネクタを1個から提供いたします。
用途  半導体製造装置の静電チャックへの給電用に使用されています。
ワークに高電圧を印加するための通電端子です。
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用途:静電チャックの給電用端子
半導体業界の商社様からご相談があり、高電圧の静電チャック(半導体の製造装置の中で静電気でものを吸着する機械)のための給電部に必要なコネクタを制作しました。 常用電圧が3KV、耐電圧6KVで、小さいスペースの中に組み込むために小型化も行いました。